对何振华来说,解决一微米制程的需求,远比铜导线要急迫的多,在车上,何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。
这些专业的问题,徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。
“高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米,i线365纳米,最理想的状态肯定是滤除g线,只保留i线,事实上i线占比太小,我们没办法得到足够功率的i线光源……”
研究光刻机的都知道,波长越短的光线,分辨率越高,这跟光的一项特性有关。
那就是双缝干涉,波长越长,干涉的缝间距越大。
365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。
但技术上达不到,也只能干瞪眼。
“试一试用水!”
“水”
什么情况?何振华脑子一脸懵。
赵国庆说:“436纳米光线入水,速度降低大概33%,频率不变的情况下……”
“波长会变短!”
何振华声音因为激动,音调变得很高,将所有人的目光吸引过来了。
“国庆,你真是个天才,我怎么没想到,按照这么来计算的话,在水中436纳米的波长,也就相当于326纳米的光线,比起i线365纳米更要优秀!”
赵国庆点点头,好吧,先让你兴奋兴奋,这是二十年后的技术,需要将整个工台浸到水里,光刻的过程也在水中进行。
需要高纯水,还要解决污染问题,相应的光刻胶稳定,介质也要解决,气泡怎么办?还有整个工台的防水处理。
这一个个问题可不怎么容易解决。
但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。
希望清大在这一块能有始有终吧。
浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发,因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44,入水后波长只有134纳米,比起157纳米深紫光源更加优秀。
兴奋过后的何振华看向张朝新主任,微微点头。
眼神中在说:“你看人家简简单单一句话,为我们解决了一個大问题。”
();() 张朝新也是技术出身,对光刻机光源这块的难度有深刻的体会。
光刻机光源难在光源发生器,一定要高功率的光源,能量不够的不行,其二就是棱镜,需要用棱镜的折射过滤掉其他波长的光线,不光在高精加工,还是材料这一块,难度都是顶级的,需要海量的基础物理研究和实验。
而现在,面前的小伙子简简单单一句话,就开辟了一个新思路。
都是道光线入水之后,波长变短,可谁也没想到用在光刻机上啊!
张朝新笑道:“他山之石,可以攻玉,小赵老师一句话,点醒梦中人啊!”
何振华又聊到铜导线技术。
赵国庆摇摇头:“铜导线工艺跟铝导线工艺完全不同,两者物理性质也大相径庭,我有一些思路,不过还需要经过物理方面的论证!”
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